北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项名为“一种射频功率合成装置及其应用设备”的专利（申请公布号：cn119231137a，申请公布日：2024年12月31日）。
该专利技术属于半导体领域，旨在提升射频功率合成效率。其核心在于一种新型装置，它通过功率合成模块整合多个射频电源的功放模块输出的射频功率，并经由阻抗变换模块进行阻抗匹配，最终生成输出射频信号。定向耦合器则负责信号采集，并将生成的射频信息反馈给控制模块。控制模块根据接收到的信息，调节功放模块的射频功率输出。此设计无需改变原有射频电源结构，即可实现多射频功率的合成与功率输出的精准调节。