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聚时科技（上海）有限公司一项名为“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”的专利技术已于2024年10月29日公开，申请公布号为cn118858155a。天眼查信息显示了该专利信息。

聚时科技“一种多自由度运动装置及晶圆承载装置”专利公布

该发明属于半导体检测技术领域，旨在改进晶圆放置台的设计。其核心在于一种多自由度运动装置，通过巧妙的气浮结构设计，显著提升了运动轴在轴向和周向的运动稳定性。专利技术利用气浮套、三个气浮限位柱以及三个间接连接运动轴的轴向位移电机，实现了高精度、高频率、高响应的垂直方向运动和旋转运动。